从纳米“照相机”到纳米“摄像机” 国产扫描电镜制造取得进展-国内新闻热点
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电镜扫描-从纳米“照相机”到纳米“摄像机” 国产扫描电镜制造取得进展-国内新闻热点

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對材料微觀結構的觀測一般離不開「微觀相機」,即掃描電子顯微鏡。由此,在材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等研究領域迫切需要這種「利器」。然而,目前我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口,每年花費上億美元從美國、日本、德國和捷克斯洛伐克等國採購掃描電鏡。國產掃描電鏡也都集中在低端產品領域。

從納米「照相機」到納米「攝像機」 國產掃描電鏡製造取得進展

記者近日從北京經濟技術開發區獲悉,由園區孵化的創新企業聚束科技(北京)有限公司(以下簡稱聚束科技)自主研發的高通量(場發射)掃描電子顯微鏡,以實物通電工作狀態展示高端電鏡的風采,破解了國產掃描電鏡「弱視」問題。

「該系統可對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分佈統計等電鏡微區分析,視頻級納米分析能力,使掃描電鏡從傳統意義的納米『照相機』躍變為納米『攝像機』。」聚束科技總經理何偉告訴記者。一位業內資深人士表示,「雖然市場還不是特別大,但它是多個科研領域用於科學分析的關鍵儀器設備」。

(記者華凌 通訊員方針) 【編輯:張一凡】

據了解,目前領航者掃描電鏡在國內裝機數量達到10台(套),並出口海外,實現在國內重大科研項目上的示範性應用。下一步,掃描電鏡設備還將被納入一些知名半導體芯片製造商的實驗室里,協助進行開發分析,助力高端製造發展。

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